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摘要:光刻机制造技术是现代微电子领域核心技术之一,其制造难度极高。目前,全球范围内具备光刻机生产能力的国家主要包括荷兰的阿斯麦公司、德国的蔡司公司以及日本的尼康和佳能等企业。这些国家在光学技术、精密机械、电子束技术等...